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著者
桜井 充
出版者
公益社団法人 日本表面真空学会
雑誌
表面と真空 (ISSN:24335835)
巻号頁・発行日
vol.61, no.8, pp.522-527, 2018-08-10 (Released:2018-08-10)
参考文献数
2