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1 0 0 0 Y-O-F系セラミックスのCHF<sub>3</sub>およびO<sub>2</sub>プラズマによる腐食挙動

著者
宮下 健司 津之浦 徹 吉田 克己 矢野 豊彦
出版者
応用物理学会
雑誌
2019年第66回応用物理学会春季学術講演会
巻号頁・発行日
2019-01-25