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1 0 0 0 CS-5-2 バイアススパッタ低温結晶化における衝突シースによるイオンのエネルギー逓減効果(CS-5.ナノスケール時代を迎えた薄膜電子材料の展開,エレクトロニクス2)

著者
齋藤 和史 渡辺 康治 古谷 健悟 佐久間 洋志 石井 清
出版者
一般社団法人電子情報通信学会
雑誌
電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集
巻号頁・発行日
vol.2005, no.2, pp."S-3"-"S-4", 2005-09-07