著者
石谷 炯
出版者
公益社団法人 高分子学会
雑誌
高分子 (ISSN:04541138)
巻号頁・発行日
vol.43, no.2, pp.90-93,97, 1994-02-01 (Released:2011-10-14)
参考文献数
8

二次イオン質量分析法(SIMS)の分野で特にポリマー材料への応用が期待されている飛行時間型(Time of Flight) SIMS(TOF・SIMS)について原理,装置,分析能力,応用例について述べ,そのポテンシャルについて展望した.