著者

福田 惠明

出版者

公益社団法人精密工学会

雑誌

精密工学会誌 = Journal of the Japan Society of Precision Engineering (ISSN:09120289)

巻号頁・発行日

vol.64, no.7, pp.1000-1003, 1998-07-05

参考文献数

5

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以上KrFエキシマスキャン露光装置の例からEUVスキャン露光装置のステージ関連の技術課題を概観した.EUVスキャン露光装置の問題は「レチクルステージ, ウエハステージの反力の放出とアクチュエータの放熱およびシステムの熱管理を真空チャンバをもつ系でどう実現するか」であるといっても過言ではない.<BR>EUVスキャン露光装置には大気中で使用するKrFエキシマスキャン露光装置にはない新しい課題もあり, 実際のシステムでは装置全体の統一を考えた設計が必要である.