- 著者
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董 立新
新井 史人
福田 敏男
- 出版者
- 一般社団法人日本機械学会
- 雑誌
- ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集
- 巻号頁・発行日
- vol.2002, 2002
電子ビーム誘発された堆積(EBID)はカーボンナノチューブ(CNT)エミッターを通して実現された。ナノマニピュレーションによってナノチューブエミッターと基板の間のギャップが377nmに調整され, 120Vのバイアスをかけて, 2μAの放出電流が得られることを示した。同じ真空室の電界放出走査電子顕微鏡(FESEM)の熱電子銃による従来のEBIDと比較すると, ナノチューブエミッターのバイアスと放出電流は, それぞれFESEMの熱電子銃のわずか0.8%および1.9%であるが, 堆積率はそれの12.2%に達したことが分かった。そして, 最後にパラレルEBIDは提案された。