- 著者
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蛭田 玲子
栗林 均
清水 了典
須藤 孝一
中村 純
岩崎 裕
- 出版者
- 公益社団法人 日本表面科学会
- 雑誌
- 表面科学講演大会講演要旨集
- 巻号頁・発行日
- vol.27, pp.75, 2007
シリコンに深い穴の配列を形成し、水素雰囲気アニールによる構造変化をSEM、AFMにより観察した。適当な円開口面積と深さ及び間隔の配列の場合、熱変形により穴の上端部が閉じ、中空の縦に細長い空洞が球に変形する過程で空洞同士がつながりSON(Si on nothing)が形成される。構造によっては、新たな円柱が取り残された構造などが形成される。構造緩和による新たな構造の形成について考察する。