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1 0 0 0 OA 単結晶Siの加工変質層 ―形成,評価,修復―

著者
閻 紀旺
出版者
公益社団法人 精密工学会
雑誌
精密工学会誌 (ISSN:09120289)
巻号頁・発行日
vol.84, no.12, pp.971-974, 2018-12-05 (Released:2018-12-05)
参考文献数
8