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1 0 0 0 招待講演 銅配線のためのグラフェンキャップ膜の耐湿バリア性 (シリコン材料・デバイス)

著者
上野 和良 ゴマサン プロイブッサラ 阿部 拓実 河原 憲治 和才 容子 クン グエン タン ナバトバ-ガバイン ナタリヤ 吾郷 浩樹 岡田 晋
出版者
電子情報通信学会
雑誌
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 (ISSN:09135685)
巻号頁・発行日
vol.117, no.429, pp.5-9, 2018-02-08