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1 0 0 0 熱反応堆積法を利用した赤外発光β-FeSi2球及び高移動度β-FeSi2膜の作製:高温アニールによる特性改善 (〈特集〉環境半導体)

著者
末益 崇 高倉 健一郎 飯倉 祐介
出版者
日本材料科学会
雑誌
材料科学 (ISSN:03883930)
巻号頁・発行日
vol.37, no.1, pp.16-20, 2000