多層膜ミラーを用いた軟X線結像光学系の開発とEUV露光装置への応用 - 文献詳細 - Ceek.jp Altmetrics

4 0 0 0 OA 多層膜ミラーを用いた軟X線結像光学系の開発とEUV露光装置への応用

著者: 村上勝彦
出版者: 兵庫県立大学
巻号頁・発行日: 2013-09-26

2013

2023-04-09 20:40:17
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これが本当に出来るなら色々と話変わってくるね EUV露光装置の多層ミラーの反射率は70％、これを複数枚だそうなので、これが異なる原理になって効率高まれば、光源のエネルギー物凄く落とせるかも https://t.co/92VC8fvRUD https://t.co/SEHoBixcUX

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