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1 0 0 0 OA 酸化物薄膜の成膜</br>—熱化学気相成長のモデル解析とシミュレーション—

著者

秋山 泰伸

出版者

一般社団法人 日本真空学会

雑誌

真空 (ISSN:05598516)

巻号頁・発行日

vol.49, no.9, pp.535-540, 2006 (Released:2007-06-15)

参考文献数

19

被引用文献数

2 2

• 2020-12-02 17:06:11
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• https://www.jstage.jst.go.jp/article/jvsj/49/9/49_9_535/_article/-char/ja/
• (info:doi/10.3131/jvsj.49.535)

言及状況

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