31 0 0 0 OA 半導体工業における純水の役割とその廃液処理技術
- 著者
- 林 一樹
- 出版者
- 無機マテリアル学会
- 雑誌
- Journal of the Society of Inorganic Materials, Japan (ISSN:21854378)
- 巻号頁・発行日
- vol.12, no.319, pp.559-564, 2005-11-01 (Released:2011-03-07)
- 参考文献数
- 10
言及状況
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半導体で使われる薬物、特にフッ素化合物は限りある資源なので、フッ化カルシウムにしてリサイクルします。
大体超純水使う工場の上にソニーやデンソーも株主ですよ。
https://t.co/386oM1ep1R
こんな妄言の前に、法令守らんと潰れますって。
他社はどうなんです？
https://t.co/CQEwfm8Hfh https://t.co/kPmVcu89TH