16 0 0 0 OA 半導体製造に用いられる超純水と機能水の最新動向
- 著者
- 矢野 大作
- 出版者
- 一般社団法人 表面技術協会
- 雑誌
- 表面技術 (ISSN:09151869)
- 巻号頁・発行日
- vol.69, no.10, pp.425-429, 2018-10-01 (Released:2019-04-01)
- 参考文献数
- 9
言及状況
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今後も半導体の需要増や微細‧多層化により、⼀層の⽔質の⾼度化や⽔量増が⾒込まれる様ですが、量も大事ですが排水の再利用も含む質が大事な様ですね
#1psemiconmemo
半導体製造で用いられる機能水の種類とその用途。
用途に応じて溶解させるガスの種類やpHを調整させているらしい。
出典：
半導体製造に用いられる超純水と機能水の最新動向
https://t.co/hXWzNiwz7t https://t.co/rlkgLgVnUg
( ..)φメモメモ
「半導体製造に用いられる超純水と機能水の最新動向」
https://t.co/hXWzNiNC9t
IT、IA・・・半導体はますます進化します。この製造を支えるのは超純水。分離技術の発展がますます必要です。例えば、「半導体製造に用いられる超純水と機能水の最新動向」
https://t.co/YGAnIKH8Ap
君も化学工学を学んで未来を作ってみないか？ https://t.co/x56RS98UNg