2 0 0 0 OA ポジ型フォトレジストの高解像化の動向
- 著者
- 浅海 慎五 逢坂 哲彌
- 出版者
- 一般社団法人 表面技術協会
- 雑誌
- 表面技術 (ISSN:09151869)
- 巻号頁・発行日
- vol.44, no.6, pp.473-477, 1993-06-01 (Released:2009-10-30)
- 参考文献数
- 19
言及状況
外部データベース (DOI)
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専門外ですが検索で見つかりましたので回答します。
ジアゾナフトキノンDNQをWikipediaでさがす。
https://ja.wikipedia.org/wiki/%E3%82%B8%E3%82%A2%E3%82%BE%E3%83%8A%E3%83%95%E3%83%88%E3%82%AD%E3%83%8E%E3%83%B3
表示された頁の右上の構造式の下のIUPAC名、別称を表示させ ...
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ポジ型フォトレジストの高解像度化の動向(1993年)
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