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均一化ビームを用いたPLD法によるSi(100)上へのTiN薄膜成長
著者
小幡 孝太郎
杉岡 幸次
高井 裕司
緑川 克美
雑誌
レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers
(
ISSN:09136355
)
巻号頁・発行日
vol.18, 1998-01-01
言及状況
変動(ピーク前後)
変動(月別)
分布
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CiNii 論文 - 均一化ビームを用いたPLD法によるSi(100)上へのTiN薄膜成長 http://t.co/BBNPQrtV #CiNii
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https://ci.nii.ac.jp/naid/10002882910
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