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1 0 0 0 窒素ラジカル源を用いたPLD法によるSi基板上のTiN薄膜成長

著者
小幡 孝太郎 杉岡 幸次 高井 裕司 緑川 克美
雑誌
レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers (ISSN:09136355)
巻号頁・発行日
vol.19, 1999-01-01
参考文献数
3

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