著者
窪田 好浩 辰巳 敬
出版者
一般社団法人 日本真空学会
雑誌
真空 = JOURNAL OF THE VACUUM SOCIETY OF JAPAN (ISSN:05598516)
巻号頁・発行日
vol.49, no.4, pp.205-212, 2006-04-20
参考文献数
68
被引用文献数
4

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