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こんな論文どうですか? 13aXF-9 Si(111)-7×7 表面からスパッタされた Si^+, Si^<2+> 収量に及ぼす微量残留酸素の効果(表面界面ダイナミクス : シリコン・(佐久間 靖博ほか),2004 http://id.CiNii.jp/IlWmL

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