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1 0 0 0 13aXF-9 Si(111)-7×7 表面からスパッタされた Si^+, Si^<2+> 収量に及ぼす微量残留酸素の効果(表面界面ダイナミクス : シリコン・ダイヤモンド, 領域 9)

著者
佐久間 靖博 加藤 政彦 シンディ ニナド 八木 伸也 曽田 一雄
出版者
一般社団法人日本物理学会
雑誌
日本物理学会講演概要集 (ISSN:13428349)
巻号頁・発行日
vol.59, no.2, 2004-08-25