著者

中尾 正史 奥 哲 田中 秀尚 横尾 篤 玉村 敏昭 益田 秀樹

出版者

一般社団法人電子情報通信学会

雑誌

電子情報通信学会技術研究報告. OPE, 光エレクトロニクス

巻号頁・発行日

vol.99, no.499, pp.31-36, 1999-12-14

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直接プレス法によるアルミ表面へのパタン形成及び陽極酸化法による自己組織化を利用して作製された高規則アルミナホールアレイ構造をドライエッチング技術により半導体に転写し、孔径揺らぎ2%という非常に均一な2次元の半導体ホールアレイを実現した。そのフォトニック結晶としての特性を明らかにすると共にFIBを用いて欠陥型微小光回路を作製し、偏波依存性をもった先導波特性を確認した。