著者
石田 誠 河野 剛士 澤田 和明
出版者
一般社団法人映像情報メディア学会
雑誌
映像情報メディア学会技術報告 (ISSN:13426893)
巻号頁・発行日
vol.33, no.39, pp.51-56, 2009-10-01

センサ・MEMSデバイスとLSIを一つのチップに融合することにより、これまでにない特徴を生み出し、これまで不可能であった計測を可能にし、新たな応用分野を開拓することができる.このようなチップをスマートマイクロチップと称している.ここではLSI技術とセンサ・MEMSデバイスが融合したことにより実現したデバイスとして、神経電位計測/薬液注入チップとpHイメージセンシングチップを紹介する

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