著者

石田 誠 河野 剛士 澤田 和明

出版者

一般社団法人映像情報メディア学会

雑誌

映像情報メディア学会技術報告 (ISSN:13426893)

巻号頁・発行日

vol.33, no.39, pp.51-56, 2009-10-01

---

センサ・MEMSデバイスとLSIを一つのチップに融合することにより、これまでにない特徴を生み出し、これまで不可能であった計測を可能にし、新たな応用分野を開拓することができる.このようなチップをスマートマイクロチップと称している.ここではLSI技術とセンサ・MEMSデバイスが融合したことにより実現したデバイスとして、神経電位計測/薬液注入チップとpHイメージセンシングチップを紹介する