著者

平野 拓一 岡田 健一 広川 二郎 安藤 真

出版者

一般社団法人電子情報通信学会

雑誌

電子情報通信学会技術研究報告. EST, エレクトロニクスシミュレーション (ISSN:09135685)

巻号頁・発行日

vol.111, no.224, pp.15-20, 2011-09-29

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チップ上に作成したアナログRF回路のオンウェーハ測定ではプローブをパッドに当てて励振する。このような構造の電磁界シミュレーションを行うためには、パッド部を含めた電磁界モデリングが必要となる。著者らは過去に対称性を有する被測定回路のパッド部の電磁界シミュレーション励振モデルについて検討を行い、実測との良好な一致を確認した。本稿では被測定回路が対極性を有しない一般の場合に拡張して、パッド部を含めたアナログRF回路の電磁界シミュレーション励振モデルについて検討した結果を報告する。