著者

馬来 国弼

出版者

The Japan Society of Applied Physics

雑誌

応用物理 (ISSN:03698009)

巻号頁・発行日

vol.57, no.12, pp.1856-1867, 1988

被引用文献数

8

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新素材の要にある薄膜の応力や, LSIなどの素子の微細化にともなって微小な膜の応力の知見が必要になっている,そこで,まず, 1960年代に確立した薄膜の応力評儀法について述べ,応力が膜の成長や構造変化にともなって発生する内部応力と熱応力とに区分されることを再確認したい.つぎに,引っ張り応九圧縮応力の発生が膜作成条件や作成法によっていることを示す.その特徴を, (1) 結晶などの粒子がのぴたり,収縮しようとしている, (2) 粒界の消滅に応じて下地をまげる応力が発生する,という見解を用いて検討し,膜・下地界面や結晶粒界などにおける応力の局所解析の必要性について触れたい.