著者

上杉 修平 Muhammad Madden 熊谷 卓也 前田 能孝 明田川 正人

出版者

公益社団法人 精密工学会

雑誌

精密工学会学術講演会講演論文集

巻号頁・発行日

vol.2012, pp.927-928, 2012

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前報までの変位センサの構成はフォトダイオードを4個×3セット使用しアライメントが困難であった.また,得られるリサージュダイアグラムはスピンドルの回転に伴い中心,半径が変動した.本報では周波数可変レーザを用いた正弦波位相変調法を採用し,センサ1セットに対しフォトダイオードを2個とした.干渉縞信号を同期検波することで90°位相の異なる2つの正弦波を得た.さらに,リサージュダイアグラムを規格化した.