著者

小倉 一朗 岡崎 祐一

出版者

公益社団法人 精密工学会

雑誌

精密工学会学術講演会講演論文集

巻号頁・発行日

vol.2009, pp.457-458, 2009

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我々はミリメートル~サブミリメートルサイズの小型機械形状を高精度に測定する,微細形状計測装置を開発している.本装置は形状精度や真円度を総合的に計測するため多軸を持つが,計測システムの精度保証のためには各軸の平行度・直交度の精度評価が重要となる.本研究ではマスターボールと変位センサからなる装置主軸の回転中心測定システムを用いて,回転主軸と直進軸の平行度を高精度に求める手法を提案する.