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電界中熱処理による窒化ガリウムの電極形成とコンタクト特性改善
著者
土田 啓介
若狭 幸太
アイマン ビン モハマド ハリル
前田 将克
高橋 康夫
出版者
一般社団法人 溶接学会
雑誌
溶接学会全国大会講演概要
巻号頁・発行日
vol.2014, pp.300-301, 2014
p-GaNでは溶解している水素によりMgが不活性化されてしまう。高温雰囲気中でp-GaNに電界を形成することで電気特性が向上した。Au膜の電極で電界中熱処理を行うとコンタクト特性が向上することが明らかになった。
言及状況
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こんな論文どうですか? 電界中熱処理による窒化ガリウムの電極形成とコンタクト特性改善(土田 啓介ほか),2014 https://t.co/28342Z79B7
収集済み URL リスト
https://ci.nii.ac.jp/naid/130005481723
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