著者

木村 禎一 遠藤 淳 後藤 孝

出版者

公益社団法人 日本セラミックス協会

雑誌

日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集

巻号頁・発行日

vol.2007, pp.57, 2007

---

ケイ酸イットリウムは、優れた化学的安定性を持つ酸化物で、耐食、耐熱コーティングとして期待される。本研究では、レーザーCVD法により、イットリアー二酸化ケイ素系複酸化物膜の合成を試みた。Y/Si比や合成圧力・合成温度などを変化させて、原料ガス組成と生成相の関係について調べた。