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1 0 0 0 部分イオン化エピタキシャル成長法によるβ-鉄シリサイドの低温結晶成長

著者
高井 裕司
出版者
東京電機大学総合研究所
雑誌
総合研究所年報
巻号頁・発行日
no.22, pp.31-36, 2002

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