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1 0 0 0 2元部分イオン化蒸着によるシリコン系赤外発光デバイスの開発

著者
高井 裕司
出版者
東京電機大学総合研究所
雑誌
総合研究所年報
巻号頁・発行日
no.24, pp.95-98, 2004

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