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1 0 0 0 OA 界面顕微光応答法による6H-SiC基板上Ni/p-3C-SiCショットキー接触の2次元評価

著者
塩島 謙次 三品 直樹 市川 尚澄 加藤 正史
出版者
応用物理学会
雑誌
2017年第64回応用物理学会春季学術講演会
巻号頁・発行日
2017-02-03

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【宣伝】2017年第64回応用物理学会春季学術講演会での加藤関連の発表その３。福井大塩島研との共同研究。3C-SiCの電気特性分布の測定の話/界面顕微光応答法による6H-SiC基板上Ni/p-3C-SiCショットキー接触の2次元評価 https://t.co/pQaDKTLmuU

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