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1 0 0 0 OA ミニマルファブのMEMS及び3D構造製造技術への適用可能性

著者
クンプアン ソマワン 原 史朗
雑誌
2020年第81回応用物理学会秋季学術講演会
巻号頁・発行日
2020-07-09

1 0 0 0 ミニマルパケージプロセスを用いたFan-Out型RDLパッケージの開発

著者
万波 徹 兼子 宏子 山内 信義 岩田 真典 三宅 賢治 吉永 孝文 クンプアン ソマワン 原 史郎
出版者
応用物理学会
雑誌
2018年第65回応用物理学会春季学術講演会
巻号頁・発行日
2018-02-08