1 0 0 0 OA ミニマルファブのMEMS及び3D構造製造技術への適用可能性
- 著者
- クンプアン ソマワン 原 史朗
- 雑誌
- 2020年第81回応用物理学会秋季学術講演会
- 巻号頁・発行日
- 2020-07-09
言及状況
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@Johoshushupopo ありがとうございますポヨ。
ジャストミートな調査結が見つかったので共有します。ドライエッチはこの時点でまだ見たいでしたけど今はあるのかな？期待できる領域の一つですね。
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