著者

今木 大輔 佐藤 隆太 堤 正臣

出版者

公益社団法人 精密工学会

雑誌

精密工学会学術講演会講演論文集

巻号頁・発行日

vol.2006, pp.173-174, 2006

---

工作機械や半導体製造装置の送り駆動系には,一般的に直動転がり案内機構としてボールガイドが用いられている.特に近年採用されつつあるリニアモータを用いた送り駆動系では,接触が直動転がり案内部分のみとなるため,送り駆動系の摩擦特性は直動転がり案内の特性に大きく依存する.本研究では,ボールガイドの球径が,送り駆動系全体の摩擦挙動に及ぼす影響を実験的に解析している.