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著者
庄子 習一 荒川 貴博 叶井 正樹 佐藤 寛暢
出版者
一般社団法人 日本真空学会
雑誌
真空 (ISSN:05598516)
巻号頁・発行日
vol.49, no.7, pp.395-399, 2006 (Released:2007-05-25)
参考文献数
21
被引用文献数
1 2