- 著者
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小西 亨
高橋 亨
- 出版者
- 一般社団法人エレクトロニクス実装学会
- 雑誌
- エレクトロニクス実装学術講演大会講演論文集
- 巻号頁・発行日
- vol.17, pp.71, 2002
ドライフィルム中に含まれる成分が現像機中に付着堆積する, いわゆるスラッジを低減すべく、従来の分散剤等を添加して改善する方法とは異なり, 汚染物を発生させないような材料を, 米国デュポン社と共同で開発をおこなった。本報ではその効果と実際のドライフィルムフォトレジスト製品への適用例を紹介する。スラッジの発生は本件を適用することにより80%以上低減することができた。