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1 0 0 0 OA ACサーボモータを用いた単結晶引上げ装置用アクティブ・パッシブ切換え型免震装置

著者
古川 裕紀 藤田 隆史 鎌田 崇義 晦日 英明
出版者
東京大学生産技術研究所
雑誌
生産研究 (ISSN:0037105X)
巻号頁・発行日
vol.57, no.6, pp.526-529, 2005 (Released:2006-11-08)
参考文献数
3