著者

有馬 澄佳

出版者

筑波大学

雑誌

若手研究(B)

巻号頁・発行日

2009

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本研究では、半導体製造等の微細加工を要する製造装置・生産ラインの管理において、良品のスループットを最大化する工場内物流の管理方法と装置・生産ラインの設計方法を研究することを目的とした。ブロッキングを考慮した待ち行列とTOCを用いたマルチチャンバ装置内部の物流適正化方法を提案し実工場で応用された。また、品質保証時間を考慮して多品種生産の良品スループット向上と装置稼動率向上を同時に達成し設備総合効率を1.4倍以上向上する管理方法を考案した。

著者

有馬 澄佳

巻号頁・発行日

2012

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科学研究費助成事業(科学研究費補助金)研究成果報告書:若手研究(B)2009-2011