- 著者
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柴坂 敏郎
木曽田 雄星
白瀬 敬一
- 出版者
- 公益社団法人 精密工学会
- 雑誌
- 精密工学会学術講演会講演論文集
- 巻号頁・発行日
- vol.2011, pp.263-264, 2011
光学機器製造用の金型あるいはマイクロ溝/パターン加工などの微細形状加工において、表面にメッキを施し、メッキ層で要求精度、微細形状を得る場合がある。メッキ材料としては、無酸素銅、無電解Ni-Pなどが現在用いられているが、本研究では新たなめっき被膜材料について、単結晶ダイヤモンドによる超精密切削加工の可能性を報告する。