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1 0 0 0 OA 半導体ウエハへの三次元配線加工:TSVと狭ピッチ電極を中心に

著者
福島 誉史 李 康旭 田中 徹 小柳 光正
出版者
一般社団法人 表面技術協会
雑誌
表面技術 (ISSN:09151869)
巻号頁・発行日
vol.67, no.8, pp.414-420, 2016-08-01 (Released:2017-08-01)
参考文献数
51
被引用文献数
1 1