- 著者
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赤司 保
竹内 真一
山本 毅
森 和行
上田 知史
河合 正昭
- 出版者
- 一般社団法人電子情報通信学会
- 雑誌
- 電子情報通信学会技術研究報告. R, 信頼性 (ISSN:09135685)
- 巻号頁・発行日
- vol.103, no.33, pp.17-22, 2003-04-18
- 被引用文献数
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小型かつ組立容易な3次元MEMS光スイッチを開発した。光スイッチ光学系を屋根型のミラーを用いて折返し構造とすることで、従来から提案されている平板型折返しミラーを用いた構造よりも光スイッチを小型化した。また、折返しミラーの実装トレランスの解析を行い、f-θレンズのビーム偏向の原理を応用した簡易アライメント手法によって、トレランスがパッシブ実装可能なまでに拡大でき、光スイッチの簡易組立が可能となることを示した。本手法により試作した光スイッチファブリックと、高速動作可能なMEMSミラーおよび制御回路により、小型、低損失、高速切替え80チャンネルMEMS光スイッチを実現した。