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1 0 0 0 ALD による超薄膜Pt 中間層を用いたCu-Cu 低温疑似直接接合

著者
(DC)桑江 博之 山田 紘右 上林 拓海 百瀬 渉 庄子 習一 水野 潤
出版者
応用物理学会
雑誌
2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会
巻号頁・発行日
2018-07-10