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2 0 0 0 OA 半導体デバイスの裏面研削技術

著者
石川 一政 小林 一雄
出版者
公益社団法人 精密工学会
雑誌
精密工学会誌 (ISSN:09120289)
巻号頁・発行日
vol.73, no.7, pp.764-767, 2007 (Released:2009-12-10)
被引用文献数
1 1