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1 0 0 0 4H-SiC非極性面の表面再結合速度の解析

著者
章 心馳 小濱 公洋 市村 正也 加藤 正史
出版者
応用物理学会
雑誌
2018年第65回応用物理学会春季学術講演会
巻号頁・発行日
2018-02-08