著者
奥田 貴啓 石丸 伊知郎 筒井 宏光
出版者
公益社団法人 精密工学会
雑誌
精密工学会学術講演会講演論文集
巻号頁・発行日
vol.2004, pp.792-792, 2004

不透明多層膜厚計測手法として、紫外線パルスレーザにより最表面層を光熱変換効果により励起し得られた共振周波数の解析から各層の膜厚を計測する手法を提案している。本報告では、粗面(10μm)の微小 (10nm以下) な共振振動を非接触で計測するスペックル干渉計について検討した。粗面から生じる高次回折光をフーリエ変換面においてピンホールで除去して得た0次回折光を物体光として用いるマイケルソン干渉計で計測した。