著者

平尾 公彦 芦田 極 村社 純一

出版者

公益社団法人 精密工学会

雑誌

精密工学会誌 (ISSN:09120289)

巻号頁・発行日

vol.80, no.1, pp.1-4, 2014-01-05 (Released:2014-01-05)

被引用文献数

2

著者

小倉 一朗 芦田 極 明渡 純

出版者

公益社団法人 精密工学会

雑誌

精密工学会学術講演会講演論文集

巻号頁・発行日

vol.2013, pp.111-112, 2013

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大規模配線基板やマイクロ部品を対象にした多品種変量生産技術を実現するため,オンデマンドリペア技術が望まれている.本研究では製造欠陥を迅速に検出する,レーザスキャンによる欠陥検出システムの開発を目指している.本システムでは製品表面を4秒以内で検査し,欠陥があった場合は別途リペア加工することで生産の歩留まり向上を実現する.本報では高速欠陥検出システムの試作と評価基礎実験を行った結果について述べる.

著者

林 圭一 芦田 極 藪野 浩司 黒田 雅治

出版者

一般社団法人日本機械学会

雑誌

日本機械学會論文集. C編 (ISSN:03875024)

巻号頁・発行日

vol.73, no.732, pp.2225-2231, 2007-08-25

被引用文献数

3

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Usage of self-excitation as an excitation method for cantilever-probe in atomic force microscopy (AFM) has been proposed in order to improve the low quality factor Q in liquid environments. For realization of non-contact mode AFM, it is necessary to reduce the amplitude of the self-excited cantilever-probe. In this study, the self-excited oscillation of the cantilever-probe is generated by the angular velocity feedback. In addition, the small steady state amplitude is achieved by nonlinear feedback proportional to the squared deflection angle and the angular velocity. Regarding the micro cantilever-probe as a micro cantilever beam, we show the equation of motion in which the geometrical nonlinear effect is taken into account. Averaged equation is derived by applying the method of multiple scales and the bifurcation diagram is theoretically described. Then, it is clarified that the amplitude of the cantilever-probe can be reduced by increasing the nonlinear feedback gain. By using our own making AFM, we demonstrate the nonlinear dynamics of a "van der Pol" type self-excited cantilever. Steady state amplitude of self-excited oscillation is reduced to 8 nm.