3 0 0 0 OA 研究室だより:電気通信大学 大学院情報理工学研究科 機械知能システム学専攻 菅研究室
- 著者
- 菅 哲朗
- 出版者
- 一般社団法人 電気学会
- 雑誌
- 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) (ISSN:13418939)
- 巻号頁・発行日
- vol.142, no.4, pp.NL4_2, 2022-04-01 (Released:2022-04-01)
1 0 0 0 OA 国際会議報告:The 34th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS 2021)
- 著者
- 菅 哲朗
- 出版者
- 一般社団法人 電気学会
- 雑誌
- 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) (ISSN:13418939)
- 巻号頁・発行日
- vol.141, no.4, pp.NL4_1, 2021-04-01 (Released:2021-04-01)
1 0 0 0 可変3DキラルTHzメタマテリアルのための機械的変形方法の研究
- 著者
- 小菅 拓也 菅 哲朗
- 出版者
- 一般社団法人 電気学会
- 雑誌
- 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) (ISSN:13418939)
- 巻号頁・発行日
- vol.140, no.7, pp.170-176, 2020-07-01 (Released:2020-07-01)
- 参考文献数
- 22
This paper reports an actuation method of MEMS chiral metamaterial that transforms a two-dimensional MEMS spiral with diameter 150 µm to a three-dimensional spiral by individually pulling the center of spirals. The spiral dimension was designed to work in THz electromagnetic frequency. MEMS spirals were manufactured by bonding the central part of spirals and a Si wafer with Parylene bonding, and were deformed by lifting the Si wafer. It was confirmed that spirals were stably pulled by amplitude of 60 µm at the maximum by relatively separating the spiral and the Si wafer.