- 著者
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飯野 大輝
- 出版者
- 公益社団法人 精密工学会
- 雑誌
- 精密工学会学術講演会講演論文集
- 巻号頁・発行日
- vol.2020, pp.379-380, 2020
<p>三次元フラッシュメモリは人類の生成する膨大な情報を記憶するデバイスとして大きな役割を果たしている。ドライエッチングプロセスは、三次元フラッシュメモリの製造におけるキープロセスであり、様々な技術分野でのイノベーションが求められる。本報告では、ドライエッチングプロセス開発の概要を述べるとともに、具体例として、On-site合成したC<sub>2</sub>F<sub>4</sub>ガスを適用したエッチングプロセスについても紹介する。</p>