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1 0 0 0 4H-SiC厚膜エピにおける深さ分解ライフタイム測定

著者
(M1)平山 貴史 櫛部 光弘 宮坂 晶 児島 一聡 加藤 智久 奥村 元 加藤 正史
出版者
応用物理学会
雑誌
2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会
巻号頁・発行日
2018-07-10